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發展歷程
九年磨一鏡 風雨見昆侖

    2007

  • 8月

    于應用光學國家重點實驗室組建02專項高端光刻機曝光光學系統項目論證團隊。專項論證工作啟動

  • 2008

  • 7月

    長春光機所項目論證團隊與上海光機所項目論證團隊組成曝光光學系統聯合論證團隊,其中,長春團隊總體牽頭并負責投影物鏡系統研發論證,上海團隊負責照明系統研發論證。專項論證工作進入分工協作階段

  • 2009

  • 7月

    02專項高端光刻機曝光光學系統一期項目——“高NA浸沒光學系統關鍵技術研究”項目獲批正式啟動。我國高端光刻機曝光光學系統研制進入技術研發階段

  • 2012

  • 5月

    物鏡研發超精密光學實驗室正式投入運行。物鏡研發技術攻關驗證工作全面展開

  • 2013

  • 9月

    曝光光學系統研發工作通過整機單位組織的CDR(詳細設計評審)。物鏡系統與照明系統研發進入制造階段

  • 11月

    物鏡研發團隊正式組建為長春光機所超精密光學工程研究中心。物鏡研發工作轉入中心繼續開展

  • 2014

  • 8月

    02專項光學公司-長春國科精密光學技術有限公司注冊成立

  • 2016

  • 1月

    02專項高端光刻機曝光光學系統二期項目——“浸沒式光刻機光學系統產品研制與批量生產能力建設” 獲批正式啟動

  • 7月

    長春國科精密光學技術有限公司完成股權結構重組

  • 9月

    我國首套NA0.75光刻投影物鏡通過整機單位的系統性能測試,并實現交付

  • 12月

    物鏡研發團隊全部轉入長春國科精密光學技術有限公司。我國高端光刻機曝光光學系統研制工作進入產業化實施階段

  • 2017

  • 4月

    我國首套NA0.75光刻照明系統通過整機單位的系統性能測試,并實現交付

  • 7月

    公司總部遷入超精密光學實驗樓(長春市東南湖大路3608號)